作者：章安良,朱大中 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2003年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2003040170 DOC编号：DOCCGJS2003040179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 报道了在 12 8&#176；Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ，它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ，每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法。采用振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明 ：该器件的两声路频谱对称性良好 ，并且有良好的相对温度系数 ，仅为 12Hz/℃左右。器件的质量沉积效应灵敏度约为 3 6GHz&#183；cm2 /g ，并且具有良好的线性度

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