作者：宋晓舒 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》2003年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX2003010010 DOC编号：DOCGJDX2003010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 2 0世纪 70年代MEMS/MST技术开始进入人们的生活。它给新产品带来的希望和梦幻及其应用使人们的生活发生了革命性变化。许多将这种技术的商业化视为发展目标的新公司纷纷成立。然而几年后事实证明 ，实现该技术的商业化是一个艰难的过程。MEMS是一项可以实现的技术 ，同时也是一项破坏性技术 ，它注定要完全取代现有的人们所熟悉的经过严密论证的解决方案。一项新技术通常要具有明显的优越性 ，方可取代一项既定的技术。作为经验之谈 ，在可能采用新技术之前需要在一些重要的参数上 ，(如性能和成本上 )具有 5倍的优势。现在市场上已经出现了几种MEMS器件 ，并已发展到重要的商业化阶段。其他几种技术正处于商业成功的边缘。MEMS器件的特性、主要生产厂商及如何克服MEMS实现商业化障碍的问题将得到深入研究。本文将预测这种技术的未来发展趋势。

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