作者：熊平,周旭东,邓光华,李作金,王颖,李华高,袁礼华,蒋志伟 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2003年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2003030020 DOC编号：DOCBDTG2003030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研制了隔行扫描单片式内线转移结构512&#215；512元PtSi肖特基势垒红外电荷耦合器件(CCD)。器件采用最小2μm设计规则，两层多晶硅结构。器件的像元尺寸为36μm(H)&#215；34μm(V)，填充系数为40％。器件工作在80K温度下。在阵列帧频为30帧每秒及镜头为 F/1条件下，器件噪声等效温差为0.15K。用1000K黑体测得其探测率D~*为1&#215；10~(10)cm&#183；Hz~(1/2)/W。对器件设计及性能测试结果进行了介绍。

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