作者:王沫然,陈泽敬,李志信 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2003Z10190 DOC编号:DOCBDTQ2003Z10199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 温差法测流量是一种新型气体流量计的基本原理 ,温度传感器的布置对流量计的性能影响很大。本文使用基于分子运动理论的直接模拟MonteCarlo法对这种微气体流量计通道内的气体流动进行了数值模拟 ,对比了有无传感器时速度场和温度场的分布 ,指出传感器的布置对温度场的影响很小 ,并根据温差分布规律提出了传感器布置的优化方案。

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