《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC
作者：闫利文
单位：黑龙江省机械科学研究院;黑龙江省机械工程学会
出版：《机械工程师》2003年第07期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFJXGU2003070030
DOC编号：DOCJXGU2003070039
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《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰
《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC1996年第06期 黄智伟
,李富英
《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑
《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天
《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠
《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强
《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫
《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚
《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润
《MEMS微电子机械系统与流程工业自动化》PDF+DOC2009年第07期 卞正岗
微电子机械系统(MEMS)技术是一个新兴的技术领域，文中介绍了该技术的基于概念、技术特点和关键技术，讨论了微电子机械系统的研究领域、发展现状及发展趋势。
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