《二氧化硅薄膜材料热传导尺寸效应的实验研究》PDF+DOC
作者:胡志新,王宏亮,张陵
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2003年第05期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2003050050
DOC编号:DOCCGQJ2003050059
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对微米SiO2薄膜材料沿膜面方向热传导尺寸效应进行了实验研究。结果表明,膜厚从微米数量级的尺寸开始,其传热的热导率就已开始体现出鲜明的膜厚尺寸依赖特性(即sizeeffect),经由微观能量输运理论分析后,得到了实验与理论相吻合的结果。
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