作者：黄新波,贾建援,王卫东 单位：西北工业大学 出版：《机械科学与技术》2003年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXKX2003S10070 DOC编号：DOCJXKX2003S10079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS技术及应用》PDF+DOC2003年第03期 涂苏龙,黄新波 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC2015年第04期 武金亮,周琦,高晓宇,胡梦晴,秦东林 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC1997年第02期 毅力 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《硅微电子机械学进展》PDF+DOC1993年第03期 沈克强,童勤义,于梅芳 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑 《MEMS加速度传感器的原理及分析》PDF+DOC2003年第06期 张海涛,阎贵平 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC2003年第09期 李国厚,白林峰 《MEMS的应用及发展前景》PDF+DOC2003年第03期 刘虹,刘洁,杨立峰 《微电子机械系统(MEMS)发展研究》PDF+DOC2002年第03期 王宏

    • MEMS是微电子和微机械的集成体 ，目前制备 MEMS的材料和工艺等得到很大发展 ，但其研究理论尚不成熟。本文综述了当前制备 MEMS的几个重要步骤 (即设计、材料选择、加工、封装以及测试 )的发展水平和存在问题 ；并总结了 MEMS应用的最新进展和未来前景

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