作者:孙克,赵岩,沈文锋,张彩碚 单位:国家自然科学基金委员会;中国材料研究学会 出版:《材料研究学报》2003年第02期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCYJB2003020110 DOC编号:DOCCYJB2003020119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 用溶胶-凝胶法制备SnO_2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al_2O_3基片表面制备出SnO_2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO_2薄膜。用XRD分析了单晶Si表面的SnO_2薄膜,研究激光功率对SnO_2薄膜相组成的影响。TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO_2颗粒均匀,直径约为10nm。用激光烧结法制备的SnO_2薄膜对浓度为1.80×10~(-4)丙酮的最高灵敏度为30~40,明显高于用传统烧结法制备的SnO_2薄膜的灵敏度。激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度。

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