作者:肖兵兵,王奇帅,赵鹏辉,罗坤 单位:宁夏科技发展战略和信息研究所 出版:《科技展望》2015年第06期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFKJZW2015061220 DOC编号:DOCKJZW2015061229 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微机械谐振压力传感器技术的发展》PDF+DOC2017年第06期 叶俊,吴宏熊,叶晓伟 《微结构谐振梁式压力传感器研究》PDF+DOC2000年第04期 陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC2000年第05期 樊尚春,刘广玉 《硅微机械谐振压力传感器技术发展》PDF+DOC2013年第20期 苑伟政,任森,邓进军,乔大勇 《硅谐振梁式压力传感器模拟计算》PDF+DOC1999年第01期 樊尚春,刘广玉 《光激励微型硅谐振器研究》PDF+DOC1998年第05期 高金山,王家桢,童诗白 《新型光激励谐振式压力传感器》PDF+DOC1989年第04期 K.E.B.Thornton,葛楚鑫 《MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2010年第01期 杨川,郭灿 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC2006年第12期 樊尚春,乔少杰,张轩 《微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模》PDF+DOC2014年第03期 杨朔,邢维巍
  • 谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压力传感器的相关研究进行综述,简介其原理与类别,具体分析两种不同芯体的传感器的研究概况,并对芯体不同传感器的激励方式和检测方式进行对比,分析各自的特点,最后展望谐振式硅微结构压力传感器的发展前景。

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