作者：温诗铸 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2003年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2003020210 DOC编号：DOCZGJX2003020219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2005年第01期 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 《CMOS MEMS技术的现状及展望》PDF+DOC2004年第04期 胡明,崔梦,田斌,窦燕巍 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2003年第01期 朱健 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2011年第03期 陈勇华 《中国微纳制造研究进展》PDF+DOC2008年第11期 王立鼎,褚金奎,刘冲,罗怡

    • 微机电系统是面向 2 1世纪的新科技。由于目前尚处于开创时期 ，人们对它还缺乏统一的全面认识。试图对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行全面分析。在此基础上 ，提出和论述了未来发展中的几个关键问题

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