作者：霍鹏飞,马炳和,苑伟政 单位：中国航空学会;北京航空航天大学 出版：《航空学报》2003年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKXB2003050190 DOC编号：DOCHKXB2003050199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出多端口组件网络方法对MEMS进行建模与仿真，建立了惯导MEMS典型功能结构部件的参数化多端口组件模型，联结组件模型形成网络构建了蟹腿式微加速度计的系统模型。用硬件描述语言作为编码工具，Saber作为平台对该微加速度计模型进行了仿真分析。研究表明，采用多端口组件网络可以实现MEMS整体行为的快速仿真，并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。与有限元分析相比较，微加速度计系统模型仿真得到的检测方向的固有频率误差小于1 0%；仿真结果表明梁的宽度变化对系统灵敏度有较大影响，故需要尽量减小梁宽的加工误差。借助该模型还研究了系统对正弦及脉冲输入信号的响应特性。

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