作者:姬慧莲,杨银堂,郭中和,柴常春 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2002年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2002060100 DOC编号:DOCCGQJ2002060109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • SiC肖特基二极管气体传感器可以广泛应用于检测气体排放物和气体泄露。通过采用PdCr合金 ,可以提高Pd/SiC气体传感器的灵敏度。同时 ,在Pd层和SiC之间引入SnO2 作为界面层也是提高其灵敏度的一种有效途径。进一步的研究表明 ,SnO2 层的大小也对传感器的性能有着重要影响。

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