作者：苏岩,杨拥军,王寿荣,周百令 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2002年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2002020130 DOC编号：DOCGNCQ2002020139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能，其灵敏度为：3.2mV/(o&#183；s-1)；量程为：&#177；500o/s；线性度：1%。

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