作者： 单位：信息产业部电子科学技术情报研究所 出版：《电子科技文摘》2002年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKWZ2002071200 DOC编号：DOCDKWZ2002071209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • Y2002-63084-313 0213687具有沉积刚性电极的闭环微 G 硅加速度计的性能局限性=Performance limits of a closed-loop micro-G siliconaccelerometer with deposited rigid electrodes[会，英]/Yazdi，N.&amp； Najafi，K.//ICM 2000 Proceedings of theTwelfth International Conference on Mieroelectronies.—313～316(PE)

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