《关于镍薄膜热电阻研制的几个问题》PDF+DOC
作者:周金芳,梁素珍
单位:浙江大学
出版:《浙江大学学报(工学版)》2002年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDZC2002010150
DOC编号:DOCZDZC2002010159
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就镍薄膜热电阻研制过程中的选材、工艺、稳定性等问题进行了探讨 ,实验结果表明 :可以选用国产 0号镍 ,采用 S-枪磁控溅射技术制备镍薄膜热电阻 ;合适的热处理工艺是保证电阻温度系数α值及其一致性的关键 ;运用保护膜技术可以提高镍薄膜热电阻温度传感器的长期稳定性
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