作者:陈文浩,黄见秋 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2015年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2015030030 DOC编号:DOCCGJS2015030039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电容式焊条药皮湿度传感器》PDF+DOC1997年第05期 张爱华 《面向5G的MEMS跷跷板结构功率传感器》PDF+DOC2020年第03期 钱文轩,易真翔 《基于纳米森林的电容式湿度传感器》PDF+DOC2020年第06期 陈贵东,石梦,毛海央,熊继军,陈大鹏 《电容式焊条药皮湿度测定仪的研制》PDF+DOC1998年第02期 张爱华 《CMOS电容式湿度传感器特性研究》PDF+DOC2011年第04期 刘岩,赵成龙,聂萌,秦明 《MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究》PDF+DOC2011年第09期 张广庆,赵成龙,秦明 《高分子电容式湿度传感器信号处理方法》PDF+DOC2010年第24期 张巍,祈欣,王朝晖 《多壁碳纳米管湿度传感器频率特性(英文)》PDF+DOC2010年第04期 刘晓为,赵振刚,王鑫,周新来 《MEMS高温接触式电容压力传感器》PDF+DOC2006年第07期 冯勇建 《用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究》PDF+DOC2014年第04期 卞晓月,张健,王剑平,吉淳,吴一奇
  • 提出了一种集成加热结构的电容式湿度传感器结构。对传感器的稳态加热特性进行了分析,并利用红外线热成像技术对传感器加热过程以及稳态温度响应进行了研究。在5 V电压信号的加热下,传感器温度上升约30℃,且温度分布均匀,传感器敏感区域温差<4℃。在加热与不加热条件下,分别对传感器的湿度敏感特性与响应时间特性进行了测试。不加热时,传感器的灵敏度为0.009 13 p F/%r H,回滞≈0.12 p F,响应时间约120.8 s;以5 V脉冲信号加热后,传感器灵敏度为0.009 03p F/%r H,最大回滞≈0.025 p F,响应时间约75.2 s。加热后传感器性能有了显著提高。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。