作者:刘庆海,黄见秋 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2015年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2015030050 DOC编号:DOCCGJS2015030059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 王健,江健,穆罕默德 《低侧向效应MEMS压阻式加速度传感器》PDF+DOC2020年第01期 王鹏,杨帆,王楠,王明武,梁应选 《三维微力探针传感器技术研究》PDF+DOC2009年第02期 王鑫垚,吴伟,林启敬,赵玉龙 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC2010年第02期 杜晓强,吴柯锐 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC2007年第08期 吴瑞,温廷敦 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC2007年第29期 王辉,吴瑞,温廷敦 《表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化》PDF+DOC2006年第10期 庄志伟,王喆垚,刘理天 《一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法》PDF+DOC 沈晓春,刘利,周飞 《基于非晶碳膜压阻效应的MEMS压力传感器研究》PDF+DOC2020年第06期 马鑫,张琪,郭鹏,同笑珊,赵玉龙,汪爱英 《微机械生化传感器》PDF+DOC 于晓梅,尚庆虎,江兴流
  • 提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器,其基本原理是:由于材料热膨胀系数的差异,复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲,进而影响压阻单元中的应力分布,压阻变化通过惠斯登电桥读出,由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器,这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传感器结构,文中给出了传感器的设计原理、制备工艺以及信号检测电路的设计。经测试,传感器的灵敏度为9.2 m V/℃,具有良好的稳定性。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。