作者:季振国,向 因,朱 玲,王龙成,芮祥新 单位:北京真空电子技术研究所 出版:《真空电子技术》2002年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKDJ2002020100 DOC编号:DOCZKDJ2002020109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 通过真空蒸发沉积技术在叉指状电极上制备了酞菁铅薄膜气体传感器。实验发现,酞菁铅薄膜对甲醇和丙酮这两种蒸气具有很高的灵敏度。对于甲醇蒸气,酞菁铅薄膜具有很快的响应速度,吸附和脱附时间只要2~3s,信号随即趋于稳定。对于丙酮蒸气,在吸附的初试阶段酞菁铅薄膜的响应时间与吸附甲醇蒸气时的相差不大,但酞菁铅薄膜的电阻率在经过这个快速响应变化以后并不趋向一个稳定值而是缓慢上升,最后甚至比吸附前的电阻率略高。通过电阻率-气体吸附时间响应曲线的瞬态特性分析,方便、清楚地区分了甲醇和丙酮两种液体。

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