《适于在线测量的激光位移传感器》PDF+DOC
作者:袁道成,王洋
单位:中国计量科学研究院
出版:《计量科学与技术》2002年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLJS2002050000
DOC编号:DOCJLJS2002050009
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介绍一种新的共光轴激光非接触位移传感器 ,具有克服安装倾斜、表面纹理变化不利影响的特点 ;利用光学球差光学平均改善光斑分布均匀性 ;其微小的光触针 (1μm)以及高速绝对测量的优点适合于曲 (线 )面的快速测量以及在线测量。
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