作者:王莉田,张玉艳,王玉田 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2002年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2002040130 DOC编号:DOCCGQJ2002040139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出了一种差动电容式传感器的前置电路 ,基于电容 /电压转换的原理 ,对微小电容变化量进行测量。电路输出的直流电压与差动电容变化量成线性关系 ,且能对偏差电容和电路的漂移进行自动补偿。实验表明 ,被测电容分辨力为 8fF ,灵敏度可达 3.82× 10 11V/F。实验结果和理论分析具有良好的一致性

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