《金属氧化物半导体气敏机理探析》PDF+DOC
作者:田敬民,李守智
单位:西安理工大学
出版:《西安理工大学学报》2002年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXALD2002020100
DOC编号:DOCXALD2002020109
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讨论了金属氧化物半导体表面的气 -气、气 -固反应及其相应的电子过程 ,建立了分析气敏作用机理的理论模型 ,并提出了改进传感器性能的指导性意见。
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