作者:章晓明,刘晓东,班炯,陈靖宇,顾小稳 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2015年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2015030310 DOC编号:DOCCGQJ2015030319 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计了一种新型微力传感器,利用电阻式应变原理,采用柱式结构,量程小,灵敏度高,灵敏度可达0.0575V/N,适用于微力测量。对其弹性元件进行有限元静力分析和模态分析,传感器弹性元件的纵向应变量高于一般的力传感器,固有频率远高于常见的外部动态力频率,几乎不会发生共振现象;最后对微力传感器进行静态标定和误差分析。

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