作者:向龙,秦廷辉,蒋平英,谢晓,彭锦婕,钱俊江 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2015年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2015020040 DOC编号:DOCYDSG2015020049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 该文设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线压力传感器。阐述了SAW单端谐振器的原理,对SAW压力传感器的原理进行了分析。选择了基于类似两端固定梁的敏感结构并利用ANSYS软件对其敏感结构进行仿真、分析。利用Mathcad软件对SAW压力传感器进行建模、仿真。并根据仿真结果设计和制作了SAW压力传感器。测试结果表明,制作的传感器灵敏度较高,误差小,具备良好的压力频率特性。

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