作者：易家保 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2001年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2001040060 DOC编号：DOCCGJS2001040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 以 Sn O2 为本底 ，掺杂以 Pd、Sb、Y、Nb等元素并进行外层催化处理 ，催化层由Al2 O3和 Pt组成 ，研制成能够探测 ( 50～ 1 0 0 0 0 )&#215； 1 0 - 6甲烷、抗干扰性非常好的半导体气体传感器 .这种传感器对 C2 H5OH、H2 、CO等气体的灵敏度很低 .在催化层和底层敏感材料之间涂覆一层 Si O2 、α-Al2 O3隔离层 ，大大提高了传感器的稳定性

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