作者:李文鹏,赵新生,张鹏,申大忠 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2001年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2001080010 DOC编号:DOCCGQJ2001080019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 在同一压电石英晶片上制备两个石英晶体谐振器 ,实验结果表明双通道之间的相互干扰可以忽略。在石英晶体表面修饰多孔TiO2 膜层 ,可大大提高传感器对液体密度的灵敏度。采用两个修饰不同厚度TiO2 膜层的双通道压电传感器的频率差作为测量信号 ,可以消除液体粘度的影响 ,并获得与液体密度有良好线性关系的工作曲线 ,实现液体密度的测定

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