作者:顾铮天,冯仕猛,梁培辉,张伟清 单位:中国光学学会 出版:《光学学报》2001年第01期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXXB2001010190 DOC编号:DOCGXXB2001010199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 采用溶胶 凝胶金属氧化物半导体薄膜 ,作为表面等离子体激元共振效应的光化学传感器的传感介质。分析了金属Ag膜与传感薄膜的光学参数对传感器灵敏度的影响。通过在金属层与传感层之间优化设计中间层 ,进一步提高了传感器灵敏度。选择SnO2 薄膜及SiO2 薄膜作为传感层与中间层 ,对三种气体NH3、C2 H5 OH、C3H8进行气敏实验 ,结果表明结构优化的传感器具有更高的灵敏度。

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