作者：颜黄苹,冯勇建,许金海,卞剑涛 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001050050 DOC编号：DOCCGQJ2001050059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 阐述了一种MOS场效应管 (MOSFET)压力微传感器的结构和基本工作原理。通过对该传感器的仿真实验 ，证明了MOSFET压力微传感器可通过简单的电压———电流转换原理 ，利用栅极电容的变化导致漏极电流与开启电压的变化而有效地测出作用于栅极膜片的压力的变化 ，具有较高的灵敏度与稳定性。

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