作者： 单位：电子工业出版社;美国国际数据集团 出版：《今日电子》2001年第12期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJR2001120110 DOC编号：DOCDZJR2001120119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传感器是各种控制都少不了的重要角色，准确、迅速的控制对传感器的量程、精度、灵敏度等指标都提出了越来越高的要求，这一点在加速度测量中也不例外。 加速度测量在运动控制中起着重要的作用。在汽车、洗衣机、机器人甚至游戏手柄里都能找到加速度传感器的身影。正因为加速度传感器有着如此广泛的应用，市场对这种产品的需求也呈现出多样性的特征，而且常常对体积与性能的要求比较苛刻。在小型化方面，MEMS(微电子机械系统)技术显示出良好的前

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