作者：潘海波,陈耐生,林德娟,沈水发,黄金陵 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2001年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2001010220 DOC编号：DOCGNCQ2001010229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 综合介绍 TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和 TiO2材料的特性，比较了各 种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性，就制备方法－材料微观结构－氧敏性能关系中的几 个重要问题，进行了深入的探讨，并对今后的研究开发与产业化，结合本课题组的研究工作，提出 了几点建议。

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