作者:徐军,李欣,林冬辉,李瑞杰,林江 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2001年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2001040070 DOC编号:DOCCGQJ2001040079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍一种利用B模式厚度切变体波工作的新型水晶谐振式膜厚传感器。它采用修正式SC切型 ,以同线场电极激励。它可以在 10~ 2 80℃范围内工作 ,其测量范围为 0 .1~ 80nm ,准确度为 0 .0 2nm。

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