《基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究》PDF+DOC
作者:张昱,金心宇,陈抗生,王跃林
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2001年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2001040120
DOC编号:DOCYQXB2001040129
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本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上 ,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式 ,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近 10 2 ~ 10 - 1 Pa,具有可靠性高、响应速度快等优点
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