《双E型硅加速度传感器的研制》PDF+DOC
作者:唐世洪,张克梅
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2001年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2001040150
DOC编号:DOCCGJS2001040159
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本文在简要介绍了 ,利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的 ,双 E非整体弹性膜式硅芯片结构的同时 ,又较详细地报告了 ,用此芯片封装成的硅加速度敏感元件及硅加速度传感器结构 ,最后介绍这种加速度传感器的优良性能
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