作者:唐世洪,张克梅 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2001年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2001040150 DOC编号:DOCCGJS2001040159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《双E形结构硅压力传感器的研制》PDF+DOC2001年第01期 唐世洪 《新颖型弹性膜硅加速度传感器芯片的设计》PDF+DOC2003年第08期 邓永和 《微加速度传感器硅微结构设计》PDF+DOC2000年第02期 金磊,高世桥,李文杰 《声表面波加速度计》PDF+DOC1990年第05期 周绍明 《双E型加速度传感器硅芯片的优化设计》PDF+DOC2003年第01期 唐世洪,张克梅,邓永和,谭子尤 《微机械加工硅电容式加速度传感器》PDF+DOC2001年第01期 李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜 《微量超微量测量的几个问题》PDF+DOC1997年第03期 黄俊钦 《新结构的硅一体化微加速度传感器》PDF+DOC1994年第08期 王跃林,徐义刚,陈锋,胡鑫松 《硅微加速度传感器的现状及研究方向》PDF+DOC1995年第05期 费龙,钟先信,温志渝,高扬 《高g值MEMS加速度传感器敏感元件的结构分析》PDF+DOC2002年第04期 宋萍,李科杰,石庚辰,卢四华
  • 本文在简要介绍了 ,利用硅的各向异性腐蚀工艺研制的 ,双 E非整体弹性膜式硅芯片结构的同时 ,又较详细地报告了 ,用此芯片封装成的硅加速度敏感元件及硅加速度传感器结构 ,最后介绍这种加速度传感器的优良性能

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