作者：李萍 单位：中国电子元件行业协会;中国电子学会元件分会 出版：《电子元器件应用》2001年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQJY2001040030 DOC编号：DOCYQJY2001040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。

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