作者：何凯,陈星,王建新,张勤耀 单位：华中光电技术研究所;湖北省光学学会 出版：《光学与光电技术》2013年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXGD2013030160 DOC编号：DOCGXGD2013030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 激光三角测量方法因其具有结构简单、非接触、信号处理便捷等特点而得到广泛应用。针对工程应用中提出的高精度、大工作距离的测量要求，从激光三角位移传感器结构、光斑定位不确定度和定标方法等方面进行分析，分别讨论了各个因素对于测量精度的影响，并提出了优化方案。经实验验证，该激光三角位移测量系统在110mm的工作距离下测量误差小于1.2μm，优于在同等工作条件下的商用激光三角位移传感器。

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