《多点式压力测量传感器结构研究》PDF+DOC
作者:王敏
单位:江苏《机电信息》杂志社有限公司
出版:《》
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJDXX2012060820
DOC编号:DOCJDXX2012060829
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介绍了一种多点式压力测量传感器系统结构的设计方案。该结构采用分层设计的思想,主要由上覆盖层、上电极、传感器主体结构、下电极以及下覆盖层构成,并选择导电橡胶作为传感单元,可以较好地消除维问耦合,减小计算的复杂性。
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