作者：江兴 单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDXX2012020360 DOC编号：DOCBDXX2012020369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 敏感元件与传感器是电子信息装备制造业中的基础类产品，是重点发展的新型电子元器件中的特种元器件。近年来，在国家大力加强传感器开发和应用的一系列政策引导和支持下，我国传感器已形成了一定的产业基础，并在技术创新、自主研发、成果转化等方面取得了长足进展。一批基于MEMS技术的新型

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