作者：姜国光,段成丽,张洪泉 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012070080 DOC编号：DOCCGQJ2012070089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高Pt温度传感器的响应时间和可靠性水平，设计了一种MEMS冗余结构的新型温度传感器。结构基体采用可微加工0.1 mm厚的γ-Al2O3陶瓷；敏感薄膜由磁控溅射沉积而成，并采用离子束刻蚀方法加工成标准阻值。分析和测试表明：传感器输出与温度变化呈线性关系，空气状态下的90%响应时间小于60 s，在-20～180℃温区内非线性小于0.01%。采用二单元冗余设计的并联工作方式可有效提高传感器的可靠水平。

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