作者：黄向东,刘立丰,谭久彬,马标 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2012年第11期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2012110190 DOC编号：DOCGXJM2012110199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对调幅式电容位移传感器解调过程中由系统不确定相移导致的信号解调不准确问题，提出了一种基于改进的峰值保持电路的调幅式电容位移传感测量方法。首先，分析了调幅式电容位移传感器及其检测电路的工作原理，在研究调幅信号附加相移产生机理的基础上，提出了延迟反馈式峰值保持电路，用以去除附加相移对峰值解调的影响。然后，设计并制作了调幅式电容位移传感器，并对其各个性能指标进行了测试。最后，对实验结果和误差进行了分析。实验显示，提出的峰值保持电路的输出线性度优于0.05%，制作的传感器在0～25μm内数据测量稳定性优于10nm/30min，传感器测量偏差最大值为36nm。结果表明，采用延迟反馈型峰值保持电路有效地解决了系统不确定相移带来的峰值检波不准确的问题，所制作的电容传感器满足了高精度测量的要求。

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