作者:杨勇,常洪龙,谢中建,周平伟 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2012年第10期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2012100070 DOC编号:DOCCGJS2012100079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对铂湿法刻蚀工艺,提出了间断性腐蚀法,并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比,结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后,以普通硅片作为衬底材料,二氧化硅作为隔热层,采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器。经热敏性能测试,其电阻温度系数在20℃~80℃时为1571.2×10-6/℃;同一批次电阻阻值均匀性为0.35%;非线性度为0.57%;热时间常数为1.1μs;在0.5 h的稳定性测试中其变化幅值为0.005Ω,即精度为0.01%。该热敏传感器制作工艺简单,性能优异,可用于温度敏感、气体传感等热敏传感。

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