作者：薛严冰,唐祯安 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2012年第10期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2012100110 DOC编号：DOCGXJM2012100119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了基于陶瓷基底的悬桥式微热板结构以解决硅微热板高温稳定性差的问题。分析了微热板的传热过程，并通过有限元工具对其稳态热响应特性及微加热器电极结构进行了模拟。采用常规微电子技术结合激光微加工技术，实际制作了基底厚度为100μm，桥宽度为2mm的微结构，并对结构的加热功率-温度关系进行了测试。结果表明：热板具有较好的高温稳定性，1.5W加热功率可使板上平均温度达到630℃。将桥式微热板作为阵列传感器的加热平台，Pd掺杂原子数百分比为0.2%和10%的SnO2纳米材料分别作为阵列中两只传感器的敏感膜材料，设计并制作了阵列式气体传感器。传感器在恒电压加热方式下可实现CO或CH4单一模式气体检测；阵列传感器在高、低温脉冲电压加热模式下可实现对CO和CH4两种混合气体的定量检测。

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