作者:谌贵辉,刘建生,李礼,杨帆 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2012年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2012040230 DOC编号:DOCCGQJ2012040239 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 以MEMS加速度传感器为基础的新型数字地震检波器是地震勘探所用仪器的发展方向之一。介绍了一种三维MEMS加速度检波器结构,这有别于传统三分量MEMS传感器通过用3只MEMS加速度传感器按正交直角组装。并通过PSpice软件对其进行了整体仿真,仿真结果表明其阶跃响应和正弦响应基本和理论分析的结果吻合。

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