作者：吴迪,谢贵久,金忠,景涛,袁云华,宋祖殷 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012080100 DOC编号：DOCCGJS2012080109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 目前压阻式压力传感器灵敏度优化计算仅基于压阻条整体性几何分布，在相关参数的优化上存在局限性，且在模型及计算等方面有一定误差。本文提出一种专门用于SOI压力传感器，通过精确分析敏感栅的栅数、栅长以及其坐标分布的最佳组合参数，结合不同量程芯体膜厚的计算，达到传感器灵敏度优化的方法。基于Microsoft Visual C++平台以及有限元、数值分析等接口技术，采用参数化建模，有限元分析仿真，数值后处理，编制循环分析算法，设计SOI压力传感器灵敏度优化程序。通过实验数据验证优化设计与实际吻合较好。

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