作者:彭勇,王克鸿,周琦,沈春龙 单位:中国真空学会 出版:《真空科学与技术学报》2012年第07期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZKKX2012070210 DOC编号:DOCZKKX2012070219 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 针对中高压电子束焊机5~100mA的电子束流诊断,完成了法拉第筒传感器的研制。该传感器由法拉第筒、微弱信号放大电路、增益控制电路构成。法拉第筒电极入射孔采用双孔结构,有效的阻止了二次电子和背散射电子的逸出,提高了电子束流的收集效率。通过控制微弱信号放大电路的增益将整个束流强度范围内的信号放大到伏级。在Ua=150 kV,Ib=10mA,If=360mA,H=315 mm条件下采集功率密度分布数据,得到束流密度的二维分布图形。由于受电子束焊机特性的影响,束流功率密度分布呈非对称性的近高斯分布。

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