作者：张金平,张学军,张忠玉,郑立功 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2012年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2012030070 DOC编号：DOCGXJM2012030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对大口径非球面反射镜在研磨阶段后期其面形与理想面形存在较大偏差，且表面粗糙度较大、反射率较低，采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足测试要求等问题，提出采用动态范围大且精度高的Shack-Hartmann波前传感器来检测大口径非球面反射镜。研究分析了Shack-Hartmann波前传感器检测系统的原理及系统误差并编写了相应的数据处理软件。为了验证该方法的可行性，对已经加工完成的350mm口径旋转对称双曲面面形进行了检测，测量得到的面形误差PV值、RMS值分别为0.388λ、0.043λ(λ=632.8nm)；与干涉测量的标准结果进行了对比，得到的面形偏差PV值、RMS值分别为0.014λ和0.001λ。对比结果表明，Shack-Hartmann波前传感器的测量结果正确可靠，从而验证了Shack-Hartmann波前传感器检测大口径非球面反射镜的可行性。

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