作者：戴冠霞,尹义海,郭增军,张瑞林,徐静勇 单位：中国计量科学研究院 出版：《中国计量》2012年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJILA2012100720 DOC编号：DOCJILA2012100729 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 传统的天然气流量计主要采用容积计量，容易受天然气压力和温度的影响，而且不能反映天然气的成分变化(质量变化)。另外，现有计量仪表不能很好地计量出较小的流量，对较大的流量又存在饱和等问题，严重影响了计量的准确性。本文介绍一种根据传热原理，基于MEMS技术的传感器系统。利用MEMS技术设计的传感器系统体积小、测量准确度高、

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