作者：张洪泉,吴晓,毛奔 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018060290 DOC编号：DOCCGQJ2018060299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对“珠球状”催化气体传感器存在分散性大、难以批量制造等技术问题，采用铂薄膜工艺技术，结合激光微加工和离子束干法刻蚀技术，实现催化传感器微结构体积及加热电极制造；利用化学共沉淀方法制备γ-Al_2O_3/SnO_2活性载体，采用掺杂技术对活性载体进行ThO_2+CeO_2稳定化修饰，选择Pd和Pt元素作为催化剂，制作出具有微结构特点的催化甲烷传感器。测试结果表明：传感器对甲烷气体具有快响应特点，90%响应时间为10 s，恢复时间为12 s；传感器输出平均灵敏度为17 mV/(1%)CH_4。

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