作者：吕辉,杨慧慧 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2018年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2018040120 DOC编号：DOCDZAL2018040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对铁芯结构的改进有利于降低微型磁通门传感器的噪声，本文对铁芯结构进行了拓扑分析与优化，并采用标准MEMS工艺制备了相应的多孔铁芯结构微型磁通门，对所制备的微型磁通门进行了主要噪声指标的综合测试与对比分析。实验结果表明，改进后的多孔铁芯结构能很好地降低微型磁通门传感器的噪声，提高器件的综合性能。

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