作者：陈艳香,石云波,智丹,杨志才,邹坤,冯恒振 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016050060 DOC编号：DOCYBJS2016050069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对一种基于微梁检测结构的新型双轴MEMS面内高量程加速度传感器，通过马歇特锤冲击校准装置和霍普金森杆冲击校准装置，测试了传感器的灵敏度和频响特性。试验结果表明：该传感器敏感结构X轴方向的灵敏度为0.470&#177；0.03μV/g，幅值误差&#177；5%时，工作频带为15.5 k Hz；Y轴方向的灵敏度为(0.517&#177；0.03μV/g，幅值误差&#177；5%时，工作频带为16.9 k Hz。该加速度传感器实现了硅平面内2个轴向的高g值加速度信号测量，可以用于后期集成三轴高量程加速度传感器。

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