作者：王晓冬 单位：中国家用电器服务维修协会 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZZZ2014130050 DOC编号：DOCDZZZ2014130059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍了一种基于MEMS技术的ZnO气体传感器的设计与制备方案。该传感器采用磁控溅射技术制备掺杂碳纳米管的ZnO薄膜气敏材料，利用干法刻蚀技术形成硅中空膜片，并在膜片上形成Pt环形加热电阻作为微型加热装置。该传感器具有低温敏感、低功耗和小型化等特性。

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