作者:李春成,王鸣,夏巍,刘强,郝辉 单位:中国光学学会 出版:《光学学报》2014年第06期 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXXB2014060430 DOC编号:DOCGXXB2014060439 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于一次谐波腔长锁定技术,设计了一种基于法布里-珀罗(F-P)腔干涉的强度解调型微位移传感器。系统对F-P腔的初始腔长进行动态锁定,通过将F-P腔腔长的微小变化转化为强度信号,实现直接快速地对待测目标的微位移进行测量。详细地阐述了位移传感器的理论模型及一次谐波锁定F-P腔腔长的技术方案,实验中采用商用的高精度压电陶瓷平移台(PZT)模拟了实际物体的运动状态,实验结果表明,该系统对峰峰值在λ/4(λ为光波波长)以内、频率不高于400Hz的微位移有很好的测量结果,频率误差小于0.5Hz,测量精度小于1nm。

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